湿法刻蚀是使用相应的刻蚀液先将晶圆要刻蚀的膜进行分化， 再把其变为可溶性的化合物并去除，那湿法刻蚀清洗机的结构和作业原理是什么？今日就带我们瞧一瞧。

　　湿法刻蚀清洗机按清洗的结构方法能分为槽式批量清洗和单片清洗机两种类型。而槽式清洗又可分为半自动清洗和全自动清洗两种机台。

　　整理洗刷设备首要由耐腐蚀机架、 酸槽、 水槽、 枯燥槽、 操控单元、 排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。

　　其间酸槽和管路单元是清洗设备的首要组成部分。 依照资料的差异， 槽体可分为用不锈钢资料质地的出产的槽、 用NPP 原料出产的抗腐蚀的槽、 用PVDF原料出产的槽、 用PTFE原料出产的槽、 用石英原料出产的槽等， 依照功用的差异槽体又可分为酸碱刻蚀槽、 溢流清洗槽、 快速排水槽和使晶圆快速枯燥的枯燥槽等， 依据清洗工艺要求的不同， 还能添加腐蚀液的超声及兆声清洗、 腐蚀液加热或制冷、拌和、 循环及去离子水加热等清洗功用。

　　在资料挑选上， 不锈钢槽大多数都用在有机溶液或碱性溶液； 而石英加热槽大多数都用在酸性溶液， 并且该槽耐高温， 一般为二百摄氏度， 最高可以到达四百摄氏度；高纯度聚丙烯槽大多数都用在温度小于八十摄氏度的酸碱溶液；聚氟乙烯槽常常用来承装 BOE 以及氢氟酸， 要求温度最高不能高于一百二十摄氏度。 聚四氟乙烯槽可用于简直一切的酸碱以及有机溶液，其耐温小于150摄氏度。

　　在功用挑选上， QDR槽即快速排水清洗槽常常使用在酸碱刻蚀后对去离子水的冲刷工艺上。 其作业原理是先从该槽体上部喷淋以及底部注入去离子水， 比及一定量后在把去离子水快速排空。 经过把去离子水快速排走带走杂质离子。 这一进程一般要重复 进行 3－4 个循环。其作业原理如图1所示。

　　超声槽是指使用槽体底部或旁边面超声宣布振板发生超声波，超声波，超声波在水中或溶液中生成很多的气泡， 气泡决裂开释强壮的动能。 超声波的频率一般为28kHz 或 48kHz，频率越高，清洗的颗粒越小。工艺腐蚀槽是指使用各类酸碱刻蚀液以及有机溶液，完成某些刻蚀进程或清洗的作用。

　　溢流槽的作业原理为底部继续注入去离子水，从上部四周外溢，然后经过水流带走污染物。其作业原理如图2所示。

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